[发明专利]泵监视装置、真空泵以及生成物堆积诊断用数据处理程序在审
| 申请号： | 201980094661.6 | 申请日： | 2019-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN113631817A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 玉井雄介 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种泵监视装置，用于诊断真空泵内的生成物堆积，该泵监视装置具备：获取部，其获取表示所述真空泵的泵状态的数据；统计量运算部，其基于由所述获取部获取到的所述数据，来计算每个规定时间间隔的表示数据的分布的宽度的统计量；以及诊断部，其基于所述统计量，输出所述真空泵的与生成物堆积量有关的诊断信息。 | ||
| 搜索关键词： | 监视 装置 真空泵 以及 生成物 堆积 诊断 数据处理 程序 | ||
【主权项】：
暂无信息
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