[发明专利]蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法在审
| 申请号： | 201980089942.2 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN113330135A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 观田康克 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本显示器 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 邸万杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及在蒸镀区域由薄膜形成的蒸镀掩模中，具有薄膜与保持薄膜的保持框之间的稳定的连接结构的蒸镀掩模包括：形成有多个开口的薄膜状的掩模主体；设置在上述掩模主体的周围的保持框；和连接上述掩模主体与上述保持框的连接部件。在俯视时，在与上述保持框接触的区域中的上述连接部件的第1外缘，相比于与上述连接部件接触的上述掩模主体的第2外缘，位于外侧。在观察截面时，在从上述第1外缘至上述第2外缘之间，上述连接部件的表面逐渐靠近上述第2外缘。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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