[发明专利]集成测量系统

摘要

提出了一种测量系统，被配置用于与加工设备集成，用于对结构进行光学测量。该测量系统包括：支撑组件，用于将被测量的结构保持在测量平面中，支撑组件被配置且能操作为在与测量平面平行的平面内旋转并且在测量平面中沿着第一横向轴移动；光学系统，限定法向和斜向光学方案的照射和收集光通道；光学系统包括光学头，光学头包括位于照射和收集光通道中的至少三个透镜单元；支架组件，包括：用承载光学头的支撑单元；以及引导单元，被配置且能操作为引导支撑单元沿着垂直于第一横向轴的第二横向轴延伸的路径滑动运动，路径沿着垂直于第一横向轴的第二横向轴延伸；和光学窗口布置，包括形成在面板中至少三个光学窗口，面板位于光学头与测量平面之间，与测量平面相距一定距离，窗口以间隔开的平行关系布置并且平行于路径延伸，光学窗口与照射和收集光通道对齐，用于分别根据法向和斜向光学方案传播从光学头照射的光和将从被照射区域返回的光传播到光学头。