[发明专利]确定图案形成装置的光学特性的分量的子集

摘要

本文中描述了一种用于确定图案化过程的光学特性的分量的方法。该方法包括获得(i)多个期望特征，(ii)基于多个期望特征的多个模拟特征和图案化过程的光学特性，以及(iii)与多个期望特征中的期望特征和多个模拟特征中的相关模拟特征相关的性能度量(例如，EPE)；通过基于光学特性的值的变化计算性能度量的值的变化来确定图案化过程的光学灵敏度的集合；以及基于该光学灵敏度的集合辨识包括性能度量的值的改变的主要贡献者的光学特性的分量的集合(例如，主分量)。