[发明专利]使用阻抗盘对挤出模头进行气相沉积涂覆的系统和方法

摘要

在挤出模头上沉积无机材料的方法，所述方法包括：在气相沉积室内定位挤出模头，将阻抗盘定位在挤出模头的面上，所述阻抗盘具有多个通孔，并且挤出模头的面具有由多个挤出模头销限定的多个槽，以及使一种或多种沉积气体流动通过多个通孔并进入到多个槽中，以在多个销的侧壁上沉积无机颗粒。在阻抗盘和挤出模头上的针对一种或多种沉积气体的流动的总阻抗等于阻抗盘的盘阻抗加上挤出模头的模头阻抗，并且盘阻抗可以是针对沉积气体的流动的总阻抗的至少40％。