[发明专利]微机械传感器装置和用于制造微机械传感器装置的方法在审
| 申请号： | 201980085042.0 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN113227741A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | T·弗里德里希;K·德塞尔;C·赫尔梅斯 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L9/12;G01L15/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种微机械传感器装置(1)，包括衬底(2)和边缘层(3)，所述边缘层布置在所述衬底(2)上并且在横向上包围在所述衬底(2)上面的内部区域(IB)；至少一个膜片(4)，所述膜片跨越所述内部区域(IB)并且构造在所述衬底(2)上面的被遮盖的腔(K)；至少一个支撑部(5)，所述支撑部在所述腔(K)内部布置在所述衬底(2)和所述膜片(4)之间并且所述膜片(4)固定在所述边缘层(3)和/或所述至少一个支撑部(5)上，其中，所述支撑部(5)将所述膜片(4)分隔成至少一个通过力作用(p)能运动的测量区域(MB)和至少一个通过所述力作用(p)不能运动的参考区域(RB)，其中，所述衬底(2)和所述膜片(4)在所述腔(K)内部包括在所述测量区域(MB)和参考区域(RB)中的面向彼此的电极(E1；E2)。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 装置 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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