[发明专利]具有膜片的MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法在审
| 申请号： | 201980085041.6 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN113226977A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | T·弗里德里希;K·德塞尔;C·赫尔梅斯 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/04 | 分类号： | B81B7/04;B81C1/00;G01L9/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种具有膜片的EMS传感器，其中，所述膜片的基面借助于环绕的壁结构限界，其中，所述基面具有至少两个部分区域，其中，所述部分区域中的至少一个部分区域能偏移地布置，其中，所述至少两个部分区域借助于至少一个分隔结构相对彼此分开或者通过该分隔结构限界，其中，所述分隔结构具有用于使流体通过的至少一个流体通道。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 膜片 mems 传感器 以及 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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