[发明专利]适用于电子束检查设备的台架设备在审
| 申请号： | 201980082404.0 | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN113272933A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | J·H·A·范德里杰特;P·P·亨佩尼尤斯;A·E·库伊克;J·古森斯;P·W·威利舒维斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 公开了台架设备，包括：物体支撑件，被配置为支撑物体；定位装置，被配置为定位物体支撑件；第一连接布置，被配置为将物体支撑件连接到定位装置，第一连接布置包括至少一个阻尼连接件；以及第二连接布置，被配置为将物体支撑件连接到定位装置，第二连接布置包括至少一个基本刚性的连接件。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 电子束 检查 设备 台架 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980082404.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
