[发明专利]具有细金属丝内电极的真空紫外线准分子灯在审
| 申请号： | 201980073050.3 | 申请日： | 2019-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN112970093A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | M·萨弗摩泽;N·布吕格曼;R·菲策克;R·菲肯斯;U·坎尼格斯基;A·沃杰乔夫斯基 | 申请（专利权）人： | 赛莱默欧洲有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J65/04 | 分类号： | H01J65/04;H01J61/067;H01J61/06 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人： | 南毅宁 |
| 地址： | 瑞士沙*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种VUV准分子灯(1)，包括用于容纳准分子形成气体(5)的介电管(3)、布置在所述管(3)内的第一电极(2)、布置在所述管(3)外的第二电极(4)，其中所述第一电极(2)是细长的并且包括至少一根细金属丝，其中所述第一电极(2)的外径小于0.5mm，并且其中所述至少一根细金属丝的外径在0.02mm与0.4mm之间。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 金属丝 电极 真空 紫外线 分子 | ||
【主权项】：
暂无信息
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