[发明专利]在借助多射束粒子显微镜将物体成像期间均衡检测器的方法在审
| 申请号： | 201980061835.9 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN112740356A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | D.蔡德勒;M.贝恩克;S.舒伯特;C.里德塞尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/28;G06T3/40 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国奥*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在借助多射束粒子显微镜将物体成像期间调节检测器的方法。根据本发明的第一实施例，基于单独图像来进行调节，并且根据第二实施例，基于重叠区域来进行调节。对于检测器调节本身，使用对比度值和/或亮度值，并且可以采用迭代方法。 | ||
| 搜索关键词： | 借助 多射束 粒子 显微镜 物体 成像 期间 均衡 检测器 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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