[发明专利]非接触式旋转接头在审
| 申请号： | 201980060096.1 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN112703085A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | E·戈卢博夫斯基 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B47/08 | 分类号： | B24B47/08;B24B7/22 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述的实施例涉及用于晶片清洁工艺的旋转接头。旋转接头包括工艺介质和支撑介质，工艺介质与支撑介质在喷嘴与旋转元件之间的间隙中相互作用。通过调节支撑介质的压力，在间隙内创建非接触式密封。非接触式密封防止或控制在旋转接头内的工艺介质的泄漏，同时使得能够将工艺介质通过压板直接输送到晶片下方，而不会有工艺介质的额外污染的风险，从而减少对晶片产生的缺陷。另外，非接触式密封防止由于例如在面密封件中引起的密封磨损而产生的颗粒，并且不会排出任何额外的外来元素。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 旋转 接头 | ||
【主权项】：
暂无信息
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