[发明专利]表面测量方法、零件的制造方法、零件的检查方法以及零件的测量装置在审
| 申请号： | 201980057651.5 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN112840206A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | J.钟;宫田一史;丸山重信 | 申请（专利权）人： | 日立安斯泰莫株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/952 | 分类号： | G01N21/952;G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 韩锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 该表面测量方法向被测量面(100d)照射相干光束(10)，将由被测量面(100d)反射的反射光投射至屏幕(102)而形成光学像(280)，在由光学传感器(107)对光学像(280)进行拍摄时，在使屏幕(102)向一个方向连续移动的状态下实施由该光学传感器(107)进行的拍摄。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 测量方法 零件 制造 方法 检查 以及 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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