[发明专利]离子植入系统中的发泡体在审
| 申请号： | 201980057342.8 | 申请日： | 2019-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112640025A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·艾伦·皮克斯利;艾立克·赫尔曼森;菲力浦·莱恩;留德米拉·史东;汤玛士·史泰西 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种半导体处理设备，其包括具有导电或不导电多孔材料的一个或多个组件。在一些实施例中，离子植入机可包括用于将离子束引导到目标的多个束线组件以及沿着所述多个束线组件中的至少一者的表面设置的多孔材料。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 植入 系统 中的 发泡 | ||
【主权项】：
暂无信息
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