[发明专利]具有乘数模式的射频(RF)脉冲阻抗调谐在审
| 申请号： | 201980054968.3 | 申请日： | 2019-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112585716A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 川崎胜正;J·斐;K·拉马斯瓦米;S·F·秀吉;清水大亮 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本文中提供用于RF脉冲反射减少的方法。在一些实施例中，一种用于使用多电平脉冲RF功率在等离子体增强基板处理系统中处理基板的方法包括：接收用于处理基板的工艺配方，所述工艺配方包括来自多个RF发生器的多个脉冲RF功率波形；使用主RF发生器来产生具有基频和第一工作周期的晶体管‑晶体管逻辑(TTL)信号；为每个RF发生器设定乘数；将第一工作周期划分为高电平间隔和低电平间隔；确定用于每个RF发生器的频率命令集，并且将频率命令集发送至每个RF发生器，其中频率命令集包括每个RF发生器的频率设定点；以及将来自多个RF发生器的多个脉冲RF功率波形提供至工艺腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 乘数 模式 射频 rf 脉冲 阻抗 调谐 | ||
【主权项】：
暂无信息
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