[发明专利]显微镜设备

摘要

提供了一种显微镜设备，包括：物镜（1）；致动器（6），用于在聚焦动作期间在聚焦方向z上调整物镜和样本（3）之间的距离，以到达并保持期望的聚焦位置；绝对z位置检测器（7），用于测量致动器在聚焦方向上的z位置；自动聚焦光源（11）；第一光学装置（12，13），用于在物镜（1）的后焦平面（14）中从物镜光轴偏移横向偏移距离（of）的位置处，生成来自光源的自动聚焦光的聚焦光点（31），使得物镜生成自动聚焦光的准直入射光束（22），准直入射光束（22）相对于物镜光轴（15）以倾斜角度（）被引导到基底上；以及第二光学装置（13，16），用于从如由基底表面（4，5）反射通过物镜的准直入射光束生成自动聚焦光的准直出射光束（34，35），并将准直出射光束引导到传感器阵列（17）上；所述设备进一步包括包含传感器阵列（17）的相对z位置检测器（20），其被配置为在聚焦动作期间检测检测器上的出射准直自动聚焦光束（34，35）的徘徊位置，所述徘徊位置反映了物镜和反射基底表面（4，5）之间的距离在z方向上的改变；以及中央控制单元（8，10），被配置为基于来自绝对z位置检测器和相对z位置检测器的信号来控制致动器，其中相对z位置检测器的信号用于在聚焦寻找和聚焦保持活动期间动态地重新校准绝对z位置检测器。