[发明专利]用于检测化学物质的集成的传感器模块在审

专利信息
申请号: 201980053457.X 申请日: 2019-06-14
公开(公告)号: CN112567216A 公开(公告)日: 2021-03-26
发明(设计)人: F.罗格;T.切斯勒 申请(专利权)人: ams国际有限公司
主分类号: G01J3/26 分类号: G01J3/26;G01J3/28;G01N21/33
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 邓亚楠
地址: 瑞士*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种集成的传感器模块包括能够操作以将UV辐射发射到样本上的UV辐射源和包括光谱敏感的UV通道的传感器,所述光谱敏感的UV通道被设置为接收来自该样本的UV辐射。每个UV通道包括相应的感测装置和设置在该相应的感测装置的UV辐射敏感部分上方的相应的UV干涉滤波器。用于通道中的每个特定通道的相应的UV干涉滤波器具有透射特性,透射特性在光谱上响应于相应化学物质的光谱特征。
搜索关键词: 用于 检测 化学物质 集成 传感器 模块
【主权项】:
暂无信息
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