[发明专利]用于检测化学物质的集成的传感器模块在审
| 申请号: | 201980053457.X | 申请日: | 2019-06-14 |
| 公开(公告)号: | CN112567216A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
| 发明(设计)人: | F.罗格;T.切斯勒 | 申请(专利权)人: | ams国际有限公司 |
| 主分类号: | G01J3/26 | 分类号: | G01J3/26;G01J3/28;G01N21/33 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 邓亚楠 |
| 地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 一种集成的传感器模块包括能够操作以将UV辐射发射到样本上的UV辐射源和包括光谱敏感的UV通道的传感器,所述光谱敏感的UV通道被设置为接收来自该样本的UV辐射。每个UV通道包括相应的感测装置和设置在该相应的感测装置的UV辐射敏感部分上方的相应的UV干涉滤波器。用于通道中的每个特定通道的相应的UV干涉滤波器具有透射特性,透射特性在光谱上响应于相应化学物质的光谱特征。 | ||
| 搜索关键词: | 用于 检测 化学物质 集成 传感器 模块 | ||
【主权项】:
暂无信息
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