[发明专利]六氟化钨的制造方法在审
| 申请号： | 201980052339.7 | 申请日： | 2019-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN112533873A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 菊池亚纪应;武田雄太;长友真圣;八尾章史 | 申请（专利权）人： | 中央硝子株式会社 |
| 主分类号： | C01G41/00 | 分类号： | C01G41/00;C01G41/04 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的一实施方式的六氟化钨的制造方法包括如下工序：第1工序，使具有氧化覆膜的钨、与氟气或非活性气体在反应器内接触，得到去除了氧化覆膜的钨，所述氟气或非活性气体包含50体积ppm以上且50体积％以下的氟化氢；及第2工序，使第1工序中去除了氧化覆膜的钨、与含氟气体接触而得到六氟化钨。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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