[发明专利]光谱仪装置以及用于制造光谱仪装置的方法在审
| 申请号： | 201980050931.3 | 申请日： | 2019-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN112534222A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | M·胡斯尼克;C·胡贝尔;R·罗德尔;B·斯坦;C·谢林 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/28;G01J3/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 后云钟;司昆明 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光谱仪装置（10），该光谱仪装置包括：法布里珀罗‑干涉仪单元（FP），该法布里珀罗‑干涉仪单元包括第一载体基底（TS1），其中所述第一载体基底（TS1）布置在法布里珀罗‑干涉仪单元（FP）的下侧（U）上并且具有光学孔径（NA）；第一基底（K）和/或第二基底（S），该第一基底布置在法布里珀罗‑干涉仪单元（FP）的背离下侧（U）的上侧（O）上，其中所述第一载体基底（TS1）以下侧（U）布置在第二基底（S）上；布置在第二基底（S）上或中和/或布置在第一基底（K）上或中的光电探测器装置（PD），其中，光电探测器装置（PD）的第一电联接区域（A1）和法布里珀罗‑干涉仪单元（FP）的第二电联接区域（A2）可以从同一方向进行电接触。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱仪 装置 以及 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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