[发明专利]下层膜形成组合物在审
申请号: | 201980050223.X | 申请日: | 2019-07-23 |
公开(公告)号: | CN112513737A | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 冈田悠;牧野岛高史;越后雅敏 | 申请(专利权)人: | 三菱瓦斯化学株式会社 |
主分类号: | G03F7/11 | 分类号: | G03F7/11;C08G8/04;G03F7/20;G03F7/039 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明的课题在于,提供有用的下层膜形成组合物。前述课题可以通过以下的下层膜形成组合物来解决。一种下层膜形成组合物,其包含具有下述式(1)所示的结构单元的化合物和溶剂,前述化合物的重均分子量按聚苯乙烯换算分子量计为1000~30000,前述化合物对于丙二醇单甲基醚乙酸酯的溶解性在23℃下为10质量%以上(式(1)中,A为单键或2价基团,R |
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搜索关键词: | 下层 形成 组合 | ||
【主权项】:
暂无信息
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