[发明专利]用于具有倾斜光学窗的微机械设备的制造方法和具有倾斜光学窗的微机械设备有效
| 申请号： | 201980046326.9 | 申请日： | 2019-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN112384469B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | S·平特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明实现一种用于具有倾斜的光学窗(F)的微机械设备(10)的制造方法，其中，提供(S1)具有第一衬底(1)并且第二衬底(2)；在第一衬底和第二衬底(1；2)中产生(S2)多个贯通孔(F1、F2)，使得关于在第一衬底(1)中的每个贯通孔(F1)产生在第二衬底(2)中的全等的贯通孔(F2)，当第一衬底(1)布置在第二衬底(2)上时这些贯通孔叠合。此外，围绕在第一衬底和第二衬底(1；2)中的各个贯通孔(F1、F2)产生(S3)呈斜面的边缘区域(RB1、RB2)，其中，边缘区域(RB1、RB2)以窗角度(FW)倾斜，其中，各两个彼此相叠布置的呈斜面的边缘区域(RB1、RB2)在俯视图中是全等的并且以相同的窗角度(FW)倾斜；提供(S4)具有结构化的窗区域(FB)的窗薄膜(FO)，该窗区域在窗薄膜(FO)的俯视图中分别遮盖贯通孔(F1、F2)，其中，窗薄膜(FO)在相应的贯通孔(F1、F2)上形成以窗角度(FW)倾斜的光学窗(F)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 具有 倾斜 光学 微机 设备 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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