[发明专利]正交入射椭圆仪以及使用其测量样本的光学性质的方法在审
| 申请号： | 201980046133.3 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN112469987A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 赵龙在;诸葛园;赵贤模 | 申请（专利权）人： | 韩国标准科学研究院 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01J4/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王萍;杨林森 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及正交入射椭圆仪以及通过使用该正交入射椭圆仪来测量样本的光学性质的方法。本发明的目的是提供：正交入射椭圆仪，其中，使用波长不相关线性偏振器代替波长相关补偿器，使得简化了设备校准过程，同时可以容易地实现测量波长范围的扩展；以及通过使用该正交入射椭圆仪来测量样本的光学性质的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 正交 入射 椭圆 以及 使用 测量 样本 光学 性质 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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