[发明专利]从同步分配过渡到异步分配的系统和方法在审
| 申请号: | 201980045534.7 | 申请日: | 2019-06-14 |
| 公开(公告)号: | CN112913343A | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
| 发明(设计)人: | 斯科特·A·里德;马兹奇·李奥纳多;休·R·理德;桑尼·亚嘉瓦尔 | 申请(专利权)人: | 伊利诺斯工具制品有限公司 |
| 主分类号: | H05K13/04 | 分类号: | H05K13/04 |
| 代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 脱颖 |
| 地址: | 美国伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 一种将材料分配在多个图案或多个基板上的方法,包括:将图案或基板递送到分配位置;获取关于图案或基板的数据;以及确定图案或基板是否非常适合于同时分配。如果非常适合于同时分配,则该方法包括在同步操作模式下基于所获取的数据在图案或基板上执行同时分配操作。如果不非常适合于同时分配,则该方法包括异步地执行以下操作之一:(1)在这至少两个图案中的第一图案上的第一分配操作和在这至少两个图案中的第二图案上的第二分配操作,(2)在第一图案和第二图案之一上的单个分配操作,以及(3)没有分配操作。 | ||
| 搜索关键词: | 同步 分配 过渡 异步 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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