[发明专利]制造具有机械预载隔膜致动器的微型泵的方法和保持装置有效
| 申请号: | 201980044651.1 | 申请日: | 2019-05-13 |
| 公开(公告)号: | CN112543844B | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
| 发明(设计)人: | 齐格弗里德·罗尔;尤塞尔·康加尔;马丁·瓦克勒;马丁·里希特;克里斯托夫·库特 | 申请(专利权)人: | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号: | F04B43/04 | 分类号: | F04B43/04 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 罗松梅 |
| 地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明涉及用于制造微型泵(21)的方法。该方法尤其包括提供衬底(22)的步骤,其中衬底(22)具有用于微型泵(21)的至少一个泵隔膜(27)。此外,提供一种用于移动泵隔膜(27)的隔膜致动器(28),其中隔膜致动器(28)被布置在根据本发明的保持装置(38)中。以下面的方式相对于衬底(22)对保持装置(38)进行取向:隔膜致动器(28)与泵隔膜(27)相对地布置,并且泵隔膜(27)通过高于环境压力的流体压力(36)在隔膜致动器(28)的方向上偏转。此外,将隔膜致动器(28)安装到泵隔膜(27)。 | ||
| 搜索关键词: | 制造 具有 机械 隔膜 致动器 微型 方法 保持 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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