[发明专利]制造具有机械预载隔膜致动器的微型泵的方法和保持装置有效

专利信息
申请号: 201980044651.1 申请日: 2019-05-13
公开(公告)号: CN112543844B 公开(公告)日: 2022-11-25
发明(设计)人: 齐格弗里德·罗尔;尤塞尔·康加尔;马丁·瓦克勒;马丁·里希特;克里斯托夫·库特 申请(专利权)人: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
主分类号: F04B43/04 分类号: F04B43/04
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 罗松梅
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及用于制造微型泵(21)的方法。该方法尤其包括提供衬底(22)的步骤,其中衬底(22)具有用于微型泵(21)的至少一个泵隔膜(27)。此外,提供一种用于移动泵隔膜(27)的隔膜致动器(28),其中隔膜致动器(28)被布置在根据本发明的保持装置(38)中。以下面的方式相对于衬底(22)对保持装置(38)进行取向:隔膜致动器(28)与泵隔膜(27)相对地布置,并且泵隔膜(27)通过高于环境压力的流体压力(36)在隔膜致动器(28)的方向上偏转。此外,将隔膜致动器(28)安装到泵隔膜(27)。
搜索关键词: 制造 具有 机械 隔膜 致动器 微型 方法 保持 装置
【主权项】:
暂无信息
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