[发明专利]用于多图像激光束质量测量的聚焦校正的方法和设备

摘要

本申请公开一种用于补偿激光束测量仪器中的聚焦误差的方法和设备，所述激光束测量仪器通过分析围绕光轴以多个角度获取的瑞利散射的图像来表征光束参数。如果未精确地定位所述激光束，则这些图像可能不对焦并且所述仪器不会报告准确结果。此方法和设备通过分析至少两个图像中的光束位置来寻找所述光束的纵轴。将所有图像细分成切片，并且计算从所述光束轴到每一切片的焦平面的距离并将其用于寻找每一切片的离焦传递函数，所述离焦传递函数与所述系统的调制传递函数组合使用以对所述切片进行解卷积。随后可以分析通过重组所述解卷积的切片形成的图像，以获得正确的光束参数。