[发明专利]用于测量物体的色共焦光学测量和共焦成像的装置和方法有效
| 申请号： | 201980041826.3 | 申请日： | 2019-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN112368539B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | C·迪茨;M·施恩勒伯;J-F·皮肖特;S·安得烈 | 申请（专利权）人： | 普雷茨特光电有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/04 | 分类号： | G01B9/04;G01B11/24;G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 钟锦舜;魏奇 |
| 地址： | 德国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种色共焦测量装置，其具有发射多个波长的光的光源(1)和第一分束器(3)。来自所述光源(1)的光通过所述第一分束器(3)和成像光学元件(25)在测量物体上成像。所述成像光学元件(25)具有色差，使得不同波长的光聚焦在距所述成像光学元件的不同距离处。从所述测量物体反射的光由所述成像光学元件和所述第一分束器(3)在第一共焦检测光阑装置(10)上成像。第一检测装置(16)检测穿过所述第一检测光阑装置(10)的光并对其进行评估。照明光阑装置(2)具有设计为狭缝光阑的至少一个第一开口，所述第一开口与所述第一检测光阑装置(10)的检测开口作为共焦孔相互作用。第二分束器(13)将从所述测量物体(8)反射的光分成第一和第二分束(14、17)。所述第一检测装置(16)通过线检测器检测所述第一分束(14)的光，并评估所有波长上的总强度，以生成总强度分布图和/或总强度图像。第二检测装置(26)同时对所述第二分束(17)的光进行光谱分裂，并评估多个单独波长或多个波长范围的光的强度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 物体 色共焦 光学 成像 装置 方法 | ||
【主权项】：
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