[发明专利]具有由形状记忆合金致动器控制的级分离的多级真空设备在审
| 申请号： | 201980041728.X | 申请日： | 2019-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN112335011A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 马尔科·厄尔巴诺 | 申请（专利权）人： | 工程吸气公司 |
| 主分类号： | H01J37/09 | 分类号： | H01J37/09;H01J37/301 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王艳江;王蓓蓓 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多级真空设备、优选地两级设备，其正常操作需要设定不同的压力，其中，压力变化可以由合适元件的形状记忆合金(SMA)线的运动来实现。本发明还公开了一种用于操作由SMA致动器控制的所述多级真空设备的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 形状 记忆 合金 致动器 控制 分离 多级 真空设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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