[发明专利]铝合金膜、其制造方法以及薄膜晶体管有效
| 申请号： | 201980039161.2 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN112262222B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 氏原祐辅;小林大士;赤松泰彦;永田智啓;中村亮太;新田纯一;中台保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C22C21/00 | 分类号： | C22C21/00;C22F1/04;C23C14/14;C23C26/00;H01L21/28;H01L21/285;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/786;C22F1/00 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供耐弯曲性以及耐热性优异的铝合金膜以及具有该铝合金膜的薄膜晶体管。为了达成上述目的，本发明的一种方式的铝合金膜，在Al纯金属中含有从Zr、Sc、Mo、Y、Nb以及Ti的组中选择的至少一种的第一添加元素。上述第一添加元素的含量在0.01原子％以上1.0原子％以下。若是这样的铝合金膜，则铝合金膜具有优异的耐弯曲性，具有优异的耐热性。另外，铝合金膜也能够蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 铝合金 制造 方法 以及 薄膜晶体管 | ||
【主权项】：
暂无信息
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