[发明专利]用于气相自由基的控制的多区气体注入

摘要

提供了一种改进了对气相自由基的控制的工艺和设备。在一个实施例中，提供了一种产生原子氧的系统，其中，产生原子氧的气体在注入工艺空间中之前被混合。该混合可以在喷头内发生，也可以在进入到该喷头中之前发生。在另一个实施例中，提供了一种喷头，该喷头包括多个区。喷头的一些区可以将产生原子氧的气体的混合物注入到工艺空间中，而其他区不注入此混合物。在一个实施例中，将产生原子氧的气体的混合物注入到主区中，而将那些气体的子集注入到喷头的内区和外区中。该工艺和该设备在正加工的衬底上提供了均匀密度的原子氧。