[发明专利]机器学习中的光学计量以表征特征在审
| 申请号： | 201980025007.X | 申请日： | 2019-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN111971551A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 冯野;张燕;奥斯曼·索卡比 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | G01N23/201 | 分类号： | G01N23/201;G01N23/04;G01N21/21;G01B15/04;G03F7/20;G06N20/00 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 计量系统可以包括被配置为针对经处理的衬底上的一个或多个特征产生光学计量输出的光学计量工具，及已使用以下训练集训练的计量机器学习模型：(i)多个特征的外形、临界尺寸和轮廓，以及(ii)多个特征的光学计量输出。计量机器学习模型可以被配置为：接收来自光学计量工具的光学计量输出；以及输出经处理的衬底上的一个或多个特征的外形、临界尺寸和/或轮廓。 | ||
| 搜索关键词： | 机器 学习 中的 光学 计量 表征 特征 | ||
【主权项】：
暂无信息
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