[发明专利]体声波谐振器设备及其制造方法在审
| 申请号： | 201980022866.3 | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN111919383A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | W·艾格纳;M·希克;U·勒斯勒尔;G·托斯卡诺 | 申请（专利权）人： | RF360欧洲有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 体声波谐振器设备包括底部电极和顶部电极(120、360)。夹持在其之间的压电层(355)在有源谐振器区中具有与周围区中的厚度不同的厚度。制造设备的方法包括：将压电晶片键合到载体晶片，并通过离子切割技术将压电晶片的一部分分离。压电层在有源区和周围区中的不同厚度通过在不同深度处注入离子来实现。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 设备 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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