[发明专利]阻抗匹配系统及其操作方法在审
| 申请号： | 201980022193.1 | 申请日： | 2019-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN111919278A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | D·卡特;V·布劳克 | 申请（专利权）人： | 先进工程解决方案全球控股私人有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘兆君 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种阻抗匹配系统包括阻抗匹配网络和控制器，所述阻抗匹配网络被耦合在交流(AC)发生器与等离子体腔室的电极之间，所述AC发生器生成具有不同幅度水平的循环重现的脉冲间隔的多水平脉冲信号，所述控制器识别每个重现的脉冲间隔；并且针对每个脉冲间隔：确定所述AC发生器与所述电极之间的阻抗失配水平，根据所确定的阻抗失配水平来调节所述阻抗匹配网络的配置，存储与经调节的配置相关联的信息。当接踵而来的脉冲间隔出现时，所述控制器从存储器中获得所存储的信息，根据所存储的信息来调节所述阻抗匹配网络的所述配置，确定所述AC发生器与所述电极之间的另一阻抗失配水平，并且调节所述阻抗匹配网络的所述配置以迭代减小所述阻抗失配水平。 | ||
| 搜索关键词： | 阻抗匹配 系统 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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