[发明专利]用于持续确定薄膜的电阻张量的所有分量的方法在审

专利信息
申请号: 201980020739.X 申请日: 2019-03-19
公开(公告)号: CN111886506A 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: T·科祖比 申请(专利权)人: 赫姆霍兹-森德拉姆德雷斯顿-罗森多夫研究中心
主分类号: G01R1/073 分类号: G01R1/073;G01R27/02
代理公司: 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 代理人: 金辉
地址: 德国德*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及用于持续确定薄膜(例如各种类型的薄膜电阻器和薄膜传感器)的电阻张量的所有分量的方法。本发明提供了用于持续确定薄膜(例如各种类型的薄膜电阻器和薄膜传感器)的电阻张量的所有分量的方法,其中使用最少数量的触点对薄膜的电阻张量的所有分量进行持续确定,无需对触点进行切换。这在任意形状的均匀薄膜部分(T)中具有至少三个彼此相隔一定距离地布置的触点(Ki至K3)中得以实现。输入电压Ui(t)施加在每个触点(K1至K3)上,检测到流经触点(K1至K3)的电流Ii(t),并且通过电压和电流值确定薄膜部分(T)的全部电阻张量ρ。
搜索关键词: 用于 持续 确定 薄膜 电阻 张量 所有 分量 方法
【主权项】:
暂无信息
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