[发明专利]多个层系统、制造方法以及在多个层系统上形成的SAW设备在审
| 申请号： | 201980016919.0 | 申请日： | 2019-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN111801890A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | T·梅茨格;木原善和;T·波拉德 | 申请（专利权）人： | RF360欧洲有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提出一种特别用于在其上形成SAW设备的层系统，该层系统包括单晶蓝宝石衬底和晶体压电层，单晶蓝宝石衬底具有第一表面，晶体压电层包括AlN，被沉积到所述第一表面上并具有第二表面。蓝宝石的晶体学R平面被用作第一表面，使得压电层的c轴的定向能够平行于第一表面和第二表面。 | ||
| 搜索关键词： | 多个层 系统 制造 方法 以及 形成 saw 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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