[发明专利]锍盐、光酸产生剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201980011857.4 | 申请日： | 2019-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN111788181B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 中尾拓人;高嶋祐作 | 申请（专利权）人： | 三亚普罗股份有限公司 |
| 主分类号： | C07C381/12 | 分类号： | C07C381/12;C07C309/04;C07C309/06;C07C309/19;C07C309/30;C07F5/00;C07F5/02;C07F9/28;C08F4/32;C08G59/68;C09K3/00;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 金世煜;李书慧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种新的锍盐以及新的光酸产生剂等，所述锍盐对i射线具有高感光性，所述光酸产生剂是含有锍盐而成的，所述锍盐对i射线具有高感光性，且与环氧化合物等阳离子聚合性化合物的相容性高，在其配合物中储存稳定性优异。本发明是一种由下述通式(1)表示的锍盐以及以含有该锍盐为特征的光酸产生剂等。[式(1)中，R表示烷基或芳基，取代基R1～R5相互独立地表示烷基、羟基、烷氧基、芳基、芳氧基、羟基(聚)亚烷基氧基或卤素原子，R6～R9相互独立地表示烷基、芳基或氢原子。m1～m5各自表示R1～R5的个数，m1和m4表示0～3的整数，m2和m5表示0～4的整数，m3表示0～5的整数，X |
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| 搜索关键词： | 锍盐 产生 固化 组合 抗蚀剂 | ||
【主权项】：
暂无信息
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