[发明专利]通过循环沉积工艺在衬底上形成含过渡金属的膜的方法、向反应腔室供给过渡金属卤化物化合物的方法以及相关的气相沉积装置在审
| 申请号： | 201980011788.7 | 申请日： | 2019-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN111684105A | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | T.哈坦帕;K.韦尔南;M.里塔拉;M.莱斯克拉 | 申请（专利权）人： | ASMIP私人控股有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455;H01L21/02;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 焦玉恒 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种通过循环沉积工艺在衬底上形成含过渡金属的膜的方法。所述方法可包括：使衬底与第一气相反应物接触，所述第一气相反应物包含过渡金属卤化物化合物，所述过渡金属卤化物化合物包含二齿含氮加合物配体；以及使衬底与第二气相反应物接触。公开了一种向反应腔室供给包含二齿含氮配体的过渡金属卤化物化合物的方法及相关的气相沉积装置。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 循环 沉积 工艺 衬底 形成 过渡 金属 方法 反应 供给 卤化物 化合物 以及 相关 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
