[发明专利]用于控制物理气相沉积金属膜与衬底和表面的粘附的方法在审
| 申请号： | 201980011190.8 | 申请日： | 2019-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN111684098A | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 阿克希尔·斯里尼瓦桑;王一菲 | 申请（专利权）人： | 美敦力泌力美公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;A61B5/145;C23C14/02;C23C14/18;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种以受控粘附力在衬底上沉积膜的方法。所述方法包括沉积包含金属的所述膜，其中在达到所述膜对所述衬底的预定粘附力的压力下使用物理气相沉积在所述衬底上沉积所述金属。所述预定粘附力允许在将所述膜粘附到所述衬底上时将所述膜加工成装置，但也允许从所述衬底上移除所述装置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 物理 沉积 金属膜 衬底 表面 粘附 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于美敦力泌力美公司，未经美敦力泌力美公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980011190.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
