[发明专利]基于RE的集成光子和电子层状结构在审
申请号: | 201980008924.7 | 申请日: | 2019-01-18 |
公开(公告)号: | CN111656627A | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 安德鲁·克拉克;瑞奇·哈蒙德;吕蒂斯·达吉斯;迈克尔·莱比;罗德尼·佩尔策尔 | 申请(专利权)人: | IQE公司 |
主分类号: | H01S5/026 | 分类号: | H01S5/026;H01L21/02;H01L21/8258 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 刘慧;金海霞 |
地址: | 英国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的系统和方法描述了在单个衬底上生长基于RE的集成光子和电子层状结构。所述层状结构包括衬底,在所述衬底的第一区域上的外延扭转稀土氧化物层,和在所述衬底的第二区域上的稀土磷属元素化物层,其中所述第一区域和所述第二区域是非重叠的。 | ||
搜索关键词: | 基于 re 集成 光子 电子 层状 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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