[发明专利]药液、药液的制造方法在审
| 申请号： | 201980006863.0 | 申请日： | 2019-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN111527451A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 上村哲也 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/32;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/09 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的课题在于提供一种即使在应用于利用EUV曝光进行的抗蚀剂工艺时也具有优异的缺陷抑制性能的药液。并且，本发明的课题还在于提供一种药液的制造方法。本发明的药液含有：有机溶剂；Fe纳米粒子，含有Fe原子且粒径为0.5～17nm；及Pb纳米粒子，含有Pb原子且粒径为0.5～17nm，所述药液中，药液的每单位体积的、Fe纳米粒子的含有粒子数与Pb纳米粒子的含有粒子数的含有粒子数之比为1.0～1.0×10 |
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| 搜索关键词： | 药液 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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