[发明专利]透明或半透明材料微观缺陷检测系统及方法在审
| 申请号： | 201980005534.4 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN111316090A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 王星泽;闫静 | 申请（专利权）人： | 合刃科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/89;G01N21/896 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤海街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种透明或半透明材料微观缺陷检测系统及方法，检测系统包括：相干光源(10)，用于出射相干光束扫描透明或半透明的检材；光电传感器(20)，用于采集所述检材的散射光强成像；控制器(30)，用于获取与扫描位置对应的所述散射光强成像；对散射光强成像进行傅里叶变换，得到相应的幅度谱和相位谱，获取所述幅度谱和相位谱的截止频率；所述截止频率与所述扫描位置及对应的相对采集位置对应；监测所述截止频率不属于频率阈值范围时的扫描位置，将该扫描位置作为缺陷位置，根据所述缺陷位置确定缺陷；频率阈值范围为预先根据洛伦茨‑米氏理论计算出的，与所述相对采集位置对应的基于非纯净介质光散射的参考值范围。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 半透明 材料 微观 缺陷 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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