[发明专利]掩模板有效
| 申请号： | 201980002391.1 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN113272467B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 潘向南;蒋志亮 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 彭久云 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种掩模板(10)，该掩模板包括至少一个第一掩模条(110)。第一掩模条(110)包括主体(111)和至少一个加强肋(112)；主体(111)包括由第一方向(R1)和第二方向(R2)限定的板面，第一方向(R1)和第二方向(R2)交叉，主体(111)沿第一方向(R1)延伸；至少一个加强肋(112)位于主体(111)的板面上且沿第一方向(R1)延伸，至少一个加强肋(112)在第二方向(R2)上的宽度小于主体(111)在第二方向(R2)上的宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 | ||
【主权项】：
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