[外观设计]用于基板处理腔室的工艺屏蔽物有效
| 申请号： | 201930430382.5 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN306118919S | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 曼朱纳塔·P·科帕;阿拉文·卡马特;蔡振雄;曼朱纳特·H·V;史蒂文·V·桑索尼;大卫·奥 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | 15-09 | 分类号： | 15-09 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 1.本外观设计产品的名称：用于基板处理腔室的工艺屏蔽物。2.本外观设计产品的用途：本设计用作在半导体加工机械设备中使用的用于基板处理腔室的工艺屏蔽物。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1立体图1。5.指定设计1为基本设计。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 工艺 屏蔽 | ||
【主权项】：
暂无信息
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