[实用新型]一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉

摘要

本实用新型公开了一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉，通过阶梯设置的温度进行钝化，并且在其中加入N2O，能够提高背钝化的效果；另外，增加换热机构，使得炉门打开时，将端部气体传递至炉管尾端，尽可能减少热量的丧失，进而节约能源。加热层采用独立控制的电热丝作为加热源，降低了设备成本，并且对炉内温度实现分区控制，使温度控制更加精确。