[实用新型]一种用于生长掺杂直拉晶体的掺杂器定位装置及掺杂装置有效
| 申请号： | 201922480285.4 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211713244U | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 田宇翔;娄中士;李成;袁长宏;李鹏飞;常瑞新;马飞;田旭东 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于生长掺杂直拉晶体的掺杂器定位装置，包括掺杂罩和定位件，定位件设于掺杂罩上，且定位件的一端与掺杂罩连接，定位件的另一端延伸出掺杂罩靠近硅溶液一端的端面，在掺杂时，定位件与硅溶液接触，对掺杂罩进行定位。本实用新型的有益效果是用于将低熔点元素(磷、砷)掺入硅溶液中的掺杂器使用，具有掺杂罩和定位件，对掺杂罩进行定位，使得掺杂效果一致性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 生长 掺杂 晶体 定位 装置 | ||
【主权项】：
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