[实用新型]一种超声波自动清洗装置

摘要

本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，且公开了一种超声波自动清洗装置，包括超声清洗箱，超声清洗箱的顶部设置有液压缸，液压缸的输出端固定连接有垫板，垫板的顶部设置有伺服电机，伺服电机的输出端固定连接有转轴，转轴的底部固定连接有内箱，内箱的表面开设有通孔，内箱的内底壁和内顶壁均固定连接有隔板，内箱的内部设置有海绵球。该超声波自动清洗装置，通过伺服电机、转轴、内箱和通孔可以使硅片在超声清洗箱内的清洗液中转动，防止清洗时废液中的附着物粘附在硅片的表面，海绵球还可以去除硅片表面的污物，通过设置弹簧、夹板和卡置口可以防止硅片在内箱内部发生碰撞导致硅片损坏。