[实用新型]一种超薄板件和高精密板件的高精度定位上下料系统

摘要

本实用新型公开了一种超薄板件和高精密板件的高精度定位上下料系统，属于机械设备技术领域。该高精度定位上下料系统，通过传输带方式实现超薄板件和高精密板件在上料输送机构、下料输送机构以及曝光机工作台面之间进行平稳传输，同时在吸附时采用吸附板进行吸附，且吸附板上具有吸附板弹性缓冲结构，可起到缓冲作用，以免板件在吸起和断真空放置过程中造成损伤；进一步的，高密度的输送传输带支撑滚筒支撑输送传输带的板件传输面，以保证支撑输送传输带的板件传输面的平面度，进而实现板件是被平稳、不倾斜、不被划伤的输送。进一步的，其吸附板可根据板材尺寸进行相应的调整，吸附过程更稳定，避免吸附不稳导致板材掉落报废的情况发生。