[实用新型]一种螺纹件表面涂层物理气相沉积用多向转动装置有效
| 申请号： | 201922393923.9 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN211595784U | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 盛立远 | 申请（专利权）人： | 北京大学深圳研究院 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人： | 万永泉 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市高新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种螺纹件表面涂层物理气相沉积用多向转动装置，包括基座及安装在所述基座上的摆动组件，所述摆动组件铰接安装在所述基座上，摆动组件与基座之间设置有摆动驱动组件，所述摆动驱动组件可驱动所述摆动组件绕着其铰接位置摆动，所述摆动组件一端设置有可径向转动的转动部及用于驱动所述转动部转动的转动驱动电机，所述转动部上设有用于固定螺纹件的螺纹件固定装置。该种螺纹件表面涂层物理气相沉积用多向转动装置具有结构简单、实施成本低、实施难度小、加工质量高、涂层一致性高等现有技术所不具备的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 螺纹 表面 涂层 物理 沉积 多向 转动 装置 | ||
【主权项】：
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