[实用新型]一种清洗大直径硅片片盒用托架有效
| 申请号： | 201922380743.7 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN211914910U | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 周迎朝;由佰玲;武卫;孙晨光;刘建伟;刘园;谢艳;杨春雪;刘秒;常雪岩;裴坤羽;祝斌;刘姣龙;王彦君;吕莹;徐荣清 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种清洗大直径硅片片盒用托架，包括固定梁、支撑机构、旋转框架，所述支撑机构设置于所述固定梁上，用于支撑硅片片盒的盒体；所述旋转框架连接于所述固定梁上，可相对于所述固定梁旋转；所述旋转框架用于固定硅片片盒的盒盖。本实用新型涉及的清洗大直径硅片片盒用托架，采用机械结构和自动化设备将硅片片盒的盒体和和盒盖分别固定清洗，保证硅片片盒的彻底清洗，避免重复翻转硅片片盒的盒体和盒盖，提高硅片片盒使用寿命；左右对称结构能同时清洗两批硅片片盒，节约时间，提高生产效率；采用聚偏氟乙烯材质来支撑硅片片盒的盒体，既避免了清洗过程中盒体磨损和再次沾污，又避免外界金属离子和杂质的二次污染，提高产品合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 直径 硅片 片盒用 托架 | ||
【主权项】：
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