[实用新型]一种MEMS红外探测器响应时间测量装置有效
| 申请号： | 201922336101.7 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN211013253U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 张琛琛;毛海央;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 无锡物联网创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00;G01V13/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 李博洋 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种MEMS红外探测器响应时间测量装置，该装置包括：辐射光源生成模块，用于产生辐射光源；脉冲激光生成模块，用于根据辐射光源产生功率可调的脉冲激光，并输入到MEMS红外探测器；测量模块，用于测得MEMS红外探测器在脉冲激光不同功率下的第一电压值和第二电压值；响应时间分析处理模块，用于根据第一电压值及第二电压值测量MEMS红外探测器的响应时间。通过实施本实用新型，克服了传统MEMS红外探测器响应时间测试中斩波器叶片遮挡‑镂空比例不易调节、叶片转动的频率难与探测器匹配、叶片转动耗时长以及采样点时间间隔较大的问题，且激光脉冲信号的测试误差在ns级，实现了对MEMS红外探测器响应时间的准确测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 红外探测器 响应 时间 测量 装置 | ||
【主权项】：
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