[实用新型]晶棒线切割装置有效
| 申请号: | 201922334946.2 | 申请日: | 2019-12-23 |
| 公开(公告)号: | CN212072480U | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
| 发明(设计)人: | 任玮;宋世信;陈新军;杨宗葵;杨永山;杨宗玉;李仲奎;李晓冰 | 申请(专利权)人: | 保山隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
| 代理公司: | 北京工信联合知识产权代理有限公司 11266 | 代理人: | 白晓晰 |
| 地址: | 678399 云南*** | 国省代码: | 云南;53 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种晶棒线切割装置,包括切割支架、第一切割轮、第二切割轮、导线轮和切割线,所述第一切割轮、第二切割轮和导线轮分别转动连接在所述切割支架上,所述切割线绕设在所述第一切割轮、第二切割轮和导线轮上,其中,所述切割线在所述第一切割轮和所述第二切割轮上绕设两次,所述第一切割轮和所述第二切割轮之间形成双线切割区,且所述双线切割区的两切割线之间间隔预设距离。使用本实用新型提供的晶棒线切割装置对晶棒进行切割时,可将晶棒的切断和取片工序同时进行,减少了不必要的时间,提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词: | 晶棒线 切割 装置 | ||
【主权项】:
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