[实用新型]一种新型自动化旋涂加热设备有效
| 申请号： | 201922287181.1 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN211538427U | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 苏州天仁微纳智能科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C15/00 | 分类号： | B05C15/00;B05C9/14;B05C11/10;B05C13/02 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市常熟经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提出一种新型自动化旋涂加热设备，包括：外壳，所述外壳内设置有容纳槽；真空装置，包括真空泵，以及真空吸盘；旋涂装置，可驱动所述真空吸盘旋转；防护装置，包括侧板，还包括盖板；滴胶装置，所述滴胶装置具有胶嘴，所述胶嘴可相对于所述涂胶口转动；胶液回收装置，包括回收孔，以及回收桶；加热装置，位于真空装置一侧与容纳槽的槽底连接；升降装置，位于加热装置上；加热防护装置，包括防护套，还包括防护盖板；基片转移装置，用于将旋涂胶液后的基片移动从所述真空吸盘上卡取并移送至所述升降装置上；控制器。本实用新型旋涂均匀，效率高，能够避免基片污染，基片易取放，且胶液能得到有效回收。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 自动化 加热 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州天仁微纳智能科技有限公司，未经苏州天仁微纳智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201922287181.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便于固定插拔的PIN针
- 下一篇：一种天然气脱汞剂性能评价实验装置
